白 琼，张斌珍，段俊萍
1.2 交叉耦合结构
谐振腔可以等效电容或电感用来存储电作用场或磁场能量。电容的阻抗计算公式为：
2 比例效应
3波导 参数扫描分析
3.2 插入损耗
3.3 带宽
4 加工与测试
RF MEMS器件封装方法分为多个层面，每个层面也有很多种不同的封装方法，如何选择取决于其本身的结构以及其对性能的要求。针对本文设计和加工的矩形波导滤波器而言，首先要优先考虑的是滤波器结构的优化，以降低封装滤波器带来的额外的损耗，其次需要考虑到器件对尺寸的要求，最后还要考虑到工艺的难度。本文设计的滤波器选择在结构设计过程中揉合对封装结构的设计，一共选择了卡槽式和盖板式两种拼接方法。卡槽式是在主体结构四周设计相应的卡槽，在对应的盖板上设计相应的卡板，最后用导电银胶粘合和完成两部分之间的拼接。盖板式是直接在盖板边沿设计一圈包裹壁，将主体结构完全包住。
卡槽式封装可以明显降低辐射损耗，降低测试难度，但是其卡槽的深宽比较高，卡槽内的光刻胶不易清理，会给加工带来不小的难度。盖板式封装虽然容易加工，但是其损耗偏大，且不易测试。本文选择卡槽式最终来实现滤波器的封装，至于卡槽内的光刻胶显影问题，采用超声和注射器结合的方法解决。
5 结论
基于对矩形波导滤波器的研究与分析，本文设计了一款含交叉耦合结构的W波段矩形波导滤波器。滤波器的矩形系数因交叉耦合结构的加载而减小了25.7%，带外抑制明显增强。通过对滤波器各个结构参数的分析，研究了其与滤波器性能指标之间的内在关系，对矩形波导滤波器的设计有一定的参考意义。
参考文献
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