1993国民经济行业分类代码(1994年国民经济行业分类及代码)

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2022-019

本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）第一届董事会、第一届监事会任期于2022年3月27日届满，根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规以及《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等相关规定，公司已开展董事会、监事会换届选举工作，现将本次董事会、监事会换届选举情况公告如下：

一、董事会换届选举情况

公司于2022年3月9日召开第一届董事会第三十二次会议，审议通过了《关于公司董事会换届暨提名第二届董事会非独立董事候选人的议案》和《关于公司董事会换届暨提名第二届董事会独立董事候选人的议案》，具体提名情况如下：

经公司董事会提名委员会审核，公司董事会同意提名宗润福先生、郑广文先生、胡琨元先生、赵庆党先生、孙华先生、陈兴隆先生为公司第二届董事会非独立董事候选人；同意提名朱煜先生、宋雷先生、钟宇先生为公司第二届董事会独立董事候选人。上述董事候选人简历附后。

独立董事候选人朱煜先生、宋雷先生已取得独立董事资格证书，并获得上海证券交易所科创板独立董事视频课程学习证明；独立董事候选人钟宇先生尚未取得独立董事资格证书，已承诺在本次提名后参加上海证券交易所举办的最近一期独立董事资格培训，并取得独立董事资格证书。其中宋雷先生为会计专业人士。

根据相关规定，公司独立董事候选人需经上海证券交易所审核无异议后方可提交股东大会审议，公司将召开2021年年度股东大会审议董事会换届事宜，其中非独立董事、独立董事选举将分别以累积投票制方式进行。公司第二届董事会董事将自2021年年度股东大会审议通过之日起就任，任期三年。

公司第一届董事会独立董事对上述事项发表了一致同意的独立意见，具体内容同日披露于上海证券交易所网站www.sse.com.cn。

二、监事会换届选举情况

公司于2022年3月9日召开第一届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于公司监事会换届暨提名第二届监事会非职工监事候选人的议案》，同意提名梁倩倩女士、史晓欣女士为公司第二届监事会非职工代表监事候选人，并提交公司2021年年度股东大会审议。上述非职工代表监事将与公司职工代表大会选举出的1名职工代表监事共同组成公司第二届监事会。公司第二届监事会非职工代表监事采取累积投票制选举产生，自2021年年度股东大会审议通过之日起就任，任期三年。上述非职工代表监事候选人简历附后。

三、其他说明

上述董事、监事候选人的任职资格符合相关法律、行政法规、规范性文件对董事、监事任职资格的要求，不存在《公司法》、《公司章程》等规定的不得担任公司董事、监事的情形。上述董事、监事候选人未曾受到中国证券监督管理委员会的行政处罚或交易所惩戒，不存在上海证券交易所认定不适合担任上市公司董事、监事的其他情形。独立董事候选人的教育背景、工作经历均能够胜任独立董事的职责要求，符合《上市公司独立董事规则》以及公司《独立董事工作制度》等有关独立董事任职资格及独立性的相关要求。

为保证公司董事会、监事会的正常运作，在公司2021年年度股东大会审议通过上述换届事项前，仍由公司第一届董事会、监事会按照《公司法》和《公司章程》等相关规定履行职责。

公司第一届董事会、第一届监事会成员在任职期间勤勉尽责，为促进公司规范运作和持续发展发挥了积极作用，公司对各位董事、监事在任职期间为公司发展所做的贡献表示衷心的感谢！

特此公告。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司董事会

2022年3月10日

附件

第二届非独立董事、独立董事候选人、非职工代表监事简历

一、非独立董事简历

1、宗润福先生，1964年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工业企业电气自动化专业，二级研究员，享受国务院政府特殊津贴。宗润福先生自1988年5月至1993年9月，先后担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部工程师、造价组组长；1993年10月至1995年9月，担任控制工程部副组长；1995年10月至1999年2月，担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，担任中国科学院沈阳自动化研究所科技处处长、室主任；2002年12月至2019年3月，任芯源有限总经理、董事、董事长；自2019年3月至2022年3月，任公司董事长兼总裁。

2、郑广文先生，1966年3月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，技术经济专业。自2008年6月至2020年10月，于沈阳富创精密设备有限公司担任董事长；自2020年10月至今，于沈阳富创精密设备股份有限公司担任董事长；自2015年6月至今，于先进制造担任执行董事；自2006年5月至2019年3月，任芯源有限董事、董事长；2019年3月至2022年3月，任公司董事。

3、胡琨元先生，1972年7月出生，中国国籍，博士研究生学历。2006年5月至2011年12月任中国科学院沈阳自动化研究所副研究员、研究员；2012年1月至今，任中国科学院沈阳自动化研究所科技处副处长、处长；自2019年12月起，相继担任沈阳中科奥维科技股份有限公司、沈阳聚德视频技术有限公司、沈阳新合物业有限责任公司、沈阳中科博微科技股份有限公司董事。2020年5月至2022年3月，担任公司董事。

4、赵庆党先生，1964年4月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，计算机技术与应用专业。自1981年10月至1989年7月，为辽宁省军区司令部战士；1989年8月至1992年2月，为辽宁省建设投资公司职员；1992年3月至1996年6月，担任辽宁省公安厅二级警司；1996年7月至2001年4月，担任辽宁节能公司办公室副主任；2001年5月至今，先后担任科发实业副总经理、党支部书记、董事长兼总经理、执行董事。2016年9月至2019年3月，担任芯源有限董事；2019年3月至2022年3月，担任公司董事。

5、孙华先生，1967年9月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，工商管理专业，高级工程师。自1996年5月至2000年9月，担任长江证券投资银行部员工、副总经理；2000年10月至2006年10月，担任华资资产管理有限公司总经理；2006年11月至2017年2月，担任中国科技产业投资管理有限公司总经理；2017年3月至今，担任中国科技产业投资管理有限公司董事长；兼任国科瑞祺物联网创业投资有限公司董事长、国科瑞华创业投资企业负责人、北京国科瑞华战略性新兴产业投资基金执行事务合伙人委派代表、中科贵银（贵州）产业投资基金执行事务合伙人委派代表、深圳市国科瑞华三期股权投资基金合伙企业执行事务合伙人委派代表等。2015年12月至2019年3月，担任芯源有限董事；2019年3月至2022年3月，担任公司董事。

6、陈兴隆先生，1976年8月出生，中国国籍，拥有美国永久居留权，研究生学历，获博士学位，机械与航空工程专业，高级工程师。2005年10月至2014年1月，于美国应用材料担任资深工程经理；2014年3月至2017年3月，于韩国三星电子公司生产技术研究所担任首席工程师；2017年5月至2018年1月，于SEMESAmericaInc.担任技术创新官；2018年3月至2019年3月，担任芯源有限副总经理、首席技术官；2019年3月至2022年3月，担任公司董事、副总裁、首席技术官。自2021年2月起，担任上海芯源微企业发展有限公司执行董事、法定代表人。

二、独立董事简历

1、朱煜先生，1965年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，博士研究生学历，机械设计及理论专业。1983年8月至2004年9月任教于中国矿业大学，先后任讲师、副教授；2001年7月至2004年9月，于清华大学从事博士后工作；2004年10月至今任清华大学教授；2007年9月至2013年9月任北京七星华创电子股份有限公司独立董事，2016年10月至2019年12月任北方华创科技集团股份有限公司独立董事；现任北京华卓精科科技股份有限公司董事、首席科学家，北京钢研新冶精特科技有限公司董事，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司独立董事、沈阳富创精密设备股份有限公司独立董事；2019年4月至2022年3月，担任公司独立董事。

2、宋雷先生，1968年6月出生，中国国籍，无境外永久居留权，研究生学历，金融学专业，高级会计师。1992年8月至1996年8月，担任辽宁资产经营公司经理；1996年9月至2001年1月，担任辽宁省财政厅下属辽宁会计师事务所（辽宁第一资产评估事务所）评估主任、所长；2001年2月至2003年6月，担任北京六合正旭资产评估公司副总经理；2003年7月至2013年9月，担任辽宁中水国地资产评估有限责任公司董事长兼总经理；2013年10月至今，担任北京国融兴华资产评估有限责任公司辽宁分公司负责人；现任辽宁中水工程造价咨询有限公司执行董事兼总经理、中天证券股份有限公司独立董事等；2019年4月至2022年3月，担任公司独立董事。

3、钟宇先生，1970年1月出生，中国国籍，无境外永久居留权，大学本科学历，经济法专业，三级律师。1992年8月至1994年4月东北制药集团沈阳第五制药厂法务；1994年4月至1998年11月，辽宁腾达律师事务所律师；1998年11朋至2002年4月，辽宁同文律师事务所律师、合伙人、副主任；2002年4月至今，北京隆安（沈阳）律师事务所律师、高级合伙人、管委会主任。

三、非职工代表监事简历

梁倩倩女士，1990年6月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，新闻学专业。自2013年10月至2016年11月，担任沈阳天广和美汽车销售服务有限公司会计；2016年11月至2020年10月，担任沈阳富创精密设备有限公司资本部副部长；2020年10月至今，担任沈阳富创精密设备股份有限公司证券部部长。2019年3月至2022年3月，担任公司监事。

史晓欣女士，1978年4月出生，中国国籍，无境外永久居留权，本科学历，会计学专业，高级会计师、注册会计师。自2010年12月至今，担任中科院沈自所科技处投资管理高级业务主管、财务处会计，2015年1月至今，担任沈阳新松医疗科技股份有限公司监事，沈阳中科博微科技股份有限公司监事会主席，苏州沈苏自动化技术开发有限公司监事等。2015年12月至2019年3月，担任芯源有限监事；2019年3月至2022年3月，担任公司监事。

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2022-021

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

第一届监事会第二十二次会议决议公告

本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

一、监事会会议召开情况

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）于2022年3月9日以现场和通讯相结合的方式召开了第一届监事会第二十二次会议（以下简称“本次会议”）。本次会议的通知于2022年2月27日送达全体监事。会议应出席监事3人，实际到会监事3人。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定，会议决议合法、有效。

二、监事会会议审议情况

本次会议由监事会主席梁倩倩女士主持，经全体监事表决，形成决议如下：

（一）审议通过《关于公司<2021年度监事会工作报告>的议案》

公司监事会根据《公司法》、《证券法》、《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》等有关规定，认真履行职责，对公司的依法运作、财务状况、对外担保、关联交易、募集资金的使用及管理、内控规范等方面进行全面监督。

表决结果：3票同意，0票反对，0票弃权。

本项议案尚需提交公司股东大会审议。

（二）审议通过《关于公司<2021年年度报告>及摘要的议案》

经核查，监事会认为：公司2021年年度报告及摘要的编制和审议程序符合法律、行政法规、公司章程和公司内部管理制度的各项规定；年度报告编制过程中，未发现公司参与年度报告及摘要编制和审议的人员有违反保密规定的行为。公司严格按照上市公司相关财务制度规范运作，2021年年度报告真实、客观、全面地反映了公司报告期内的财务状况和经营成果。监事会全体成员保证公司2021年年度报告及摘要所披露的信息真实、准确、完整，承诺其中不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并对其真实性、准确性、完整性承担个别和连带的法律责任。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站www.sse.com.cn。

（三）审议通过《关于公司<2021年财务决算报告>的议案》

根据相关法律、法规、规范性文件以及公司章程的规定，综合公司2021年年度经营及财务状况，公司编制了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年财务决算报告》。

（四）审议通过《关于公司<2021年度内部控制评价报告>的议案》

监事会认为：公司按照《企业内部控制基本规范》和《上市公司内部控制指引》的规定，对公司内部控制的有效性进行了评估，并出具了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司2021年度内部控制评价报告》。我们通过对公司现行的内部控制制度及其执行情况的了解，认为评价报告客观真实的反映了公司内部体系建设、内控制度执行的真实情况。

（五）审议通过《关于公司<2021年度募集资金存放与使用情况专项报告>的议案》

监事会认为：公司2021年度募集资金存放与使用情况符合《公司法》、《证券法》、《上市公司证券发行管理办法》、《上市公司监管指引2号——上市公司募集资金管理办法和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》等法律法规的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，也不存在募集资金使用违反相关法律法规的情形。公司真实、准确、完整、及时地披露了募集资金实际使用情况，切实履行了信息披露义务。

（六）审议《关于确认公司2021年度监事薪酬的议案》

公司监事2021年度薪酬符合公司经营管理现状及公司业绩，有利于公司稳定长远发展，不存在损害公司及股东尤其是中小股东利益的情形。

（七）审议通过《关于续聘2022年度审计机构的议案》

监事会认为：容诚会计师事务所（特殊普通合伙）具有为上市公司审计的相应执业资质和胜任能力，能够独立、诚信地对公司财务报表及内部控制情况进行审计，满足公司2022年度的审计工作要求。公司续聘会计师事务所不存在损害公司及其他股东特别是中小股东权益的情形，我们同意续聘容诚为公司2022度财务报表及内部控制审计机构。

（八）审议通过《关于会计政策变更的议案》

监事会认为：公司本次会计政策变更是根据财政部相关文件要求进行的合理变更，符合《企业会计准则》及相关规定，符合公司实际情况，执行新会计政策能够客观、公允地反映公司的财务状况和经营成果，本次会计政策变更的决策程序符合有关法律、法规和《公司章程》的规定，不存在损害公司和中小股东利益的情形。因此，监事会同意本次会计政策的变更。

（九）审议通过《关于公司2021年度利润分配预案的议案》

监事会认为：公司2021年度利润分配预案充分考虑了公司盈利情况、现金流状态及资金需求等各种因素，同时考虑投资者的合理诉求。该预案的决策程序、利润分配形式和比例符合有关法律法规、公司章程的规定，不存在损害中小股东利益的情形，符合公司经营现状，有利于公司的持续、稳定、健康发展。因此，我们同意本次利润分配预案。

（十）审议通过《关于预计公司2022年度日常关联交易的议案》

监事会认为：公司预计的2022年度日常关联交易属于正常经营往来，符合公司实际经营情况，关联交易价格以市场定价为依据，不会对公司的生产经营和财务状况构成重大影响，不存在利益输送，不存在损害公司和中小股东利益的情况。

具体内容同日披露于上海证券交易所网站www.sse.com.cn。

关联监事梁倩倩女士回避表决。

表决结果：2票同意，0票反对，0票弃权。

（十一）审议通过《关于公司监事会换届暨提名第二届监事会非职工监事候选人的议案》

鉴于公司第一届监事会任期即将届满，根据《中华人民共和国公司法》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件以及《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》等相关规定，公司监事会提名梁倩倩女士、史晓欣女士为公司第二届监事会非职工监事候选人，任期三年，自公司股东大会通过本议案之日起算。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会

2022年3月10日

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2022-014

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关于续聘2022年度审计机构的公告

重要内容提示：

● 拟聘任的会计师事务所名称：容诚会计师事务所（特殊普通合伙）

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称为“公司”）于2022年3月9日召开了第一届董事会第三十二次会议和第一届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于续聘2022年度审计机构的议案》，拟续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称为“容诚”）为公司2022年度财务报表及内部控制审计机构，聘期一年，并提请股东大会授权公司管理层与容诚协商确定审计机构的报酬等具体事宜。本项议案尚需提交公司股东大会审议。现将相关事宜公告如下：

一、拟聘任会计师事务所的基本情况

（一）机构信息

1、基本信息

容诚会计师事务所（特殊普通合伙）由原华普天健会计师事务所（特殊普通合伙）更名而来，初始成立于1988年8月，2013年12月10日改制为特殊普通合伙企业，是国内最早获准从事证券服务业务的会计师事务所之一，长期从事证券服务业务。注册地址为北京市西城区阜成门外大街22号1幢外经贸大厦901-22至901-26，首席合伙人肖厚发。

2、人员信息

截至2021年12月31日，容诚会计师事务所共有合伙人160人，共有注册会计师1131人，其中504人签署过证券服务业务审计报告。

3、业务规模

容诚会计师事务所经审计的2020年度收入总额为187,578.73万元，其中审计业务收入163,126.32万元，证券期货业务收入73,610.92万元。

容诚会计师事务所共承担274家上市公司2020年年报审计业务，审计收费总额31,843.39万元，客户主要集中在制造业（包括但不限于计算机、通信和其他电子设备制造业、专用设备制造业、电气机械和器材制造业、化学原料和化学制品制造业、汽车制造业、医药制造业）及信息传输、软件和信息技术服务业，建筑业，批发和零售业，水利、环境和公共设施管理业，交通运输、仓储和邮政业，科学研究和技术服务业，金融业，电力、热力、燃气及水生产和供应业，文化、体育和娱乐业，采矿业等多个行业。容诚会计师事务所对公司所在的相同行业上市公司审计客户家数为185家。

4、投资者保护能力

容诚会计师事务所已购买注册会计师职业责任保险，职业保险购买符合相关规定；截至2021年12月31日累计责任赔偿限额9亿元。

近三年在执业中无相关民事诉讼承担民事责任的情况。

5、诚信记录

容诚会计师事务所近三年因执业行为受到刑事处罚0次、行政处罚0次、监督管理措施1次、自律监管措施1次、纪律处分0次。

5名从业人员近三年在容诚会计师事务所执业期间因执业行为受到自律监管措施1次；11名从业人员近三年在容诚会计师事务所执业期间受到监督管理措施各1次。

10名从业人员近三年在其他会计师事务所执业期间受到监督管理措施各1次。

（二）项目信息

1、基本信息

项目合伙人：闫长满，2010年成为中国注册会计师，2008年开始从事上市公司审计业务，2008年开始在容诚会计师事务所执业，2021年开始为沈阳芯源微电子设备股份有限公司提供审计服务；近三年签署过萃华珠宝、中触媒等多家上市公司审计报告。

项目签字注册会计师：顾娜，2002年成为中国注册会计师，2002年开始从事上市公司审计业务，2001年开始在容诚会计师事务所执业，2021年开始为沈阳芯源微电子设备股份有限公司提供审计服务；近三年签署过森远股份、七彩化学、桃李面包等多家上市公司审计报告。

项目签字注册会计师：于海娟，2016年成为中国注册会计师，2012年开始从事上市公司审计业务，2012年开始在容诚会计师事务所执业，2021年开始为沈阳芯源微电子设备股份有限公司提供审计服务。

质量控制复核人：郎海红，中国注册会计师，2005年开始从事审计业务，2020年开始在质量控制部从事项目质量控制复核，拥有多年证券服务业务工作经验，无兼职。

2、上述相关人员的诚信记录情况

项目合伙人闫长满、签字注册会计师顾娜、签字注册会计师于海娟、项目质量控制复核人郎海红近三年内未曾因执业行为受到刑事处罚、行政处罚、监督管理措施和自律监管措施、纪律处分。

3、独立性

容诚会计师事务所及上述人员不存在违反《中国注册会计师职业道德守则》对独立性要求的情形。

4、审计收费

审计收费定价原则：根据公司的业务规模、所处行业和会计处理复杂程度等多方面因素，并结合公司年报审计需配备的审计人员情况和投入的工作量，以及事务所的收费标准确定最终的审计收费。

2021年度，容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司财务审计、内部控制审计费用共80万元（含税）。

关于2022年度审计费用，拟提请股东大会授权公司管理层根据本公司的业务规模、所处行业和会计处理复杂程度等多方面因素，综合考虑参与审计工作的项目组成员的经验、级别、投入时间和工作质量综合确定。

二、拟续聘会计师事务所履行的程序

（一）独立董事发表意见

公司独立董事对公司聘请的审计机构容诚进行了审查，发表了同意的事前认可意见，并发表独立意见如下：“容诚会计师事务所（特殊普通合伙）具有为上市公司审计的相应执业资质和胜任能力，能够独立、诚信地对公司财务报表及内部控制情况进行审计，满足公司2022年度的审计工作要求。公司续聘会计师事务所不存在损害公司及其他股东特别是中小股东权益的情形，我们同意续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度财务报表及内部控制审计机构。综上，我们同意《关于续聘2022年度审计机构的议案》，并提交公司股东大会审议。”

（二）董事会审计委员会审议续聘会计师事务所情况

2022年3月9日，公司召开第一届董事会审计委员会第十三次会议，审议通过了《关于续聘2022年度审计机构的议案》，同意继续聘请容诚为公司2022年度审计机构。

公司董事会审计委员会对公司聘请的审计机构容诚进行了审查，认为容诚参与年审的人员均具备实施审计工作所需的专业知识和相关的执业证书，具有会计师事务所执业证书以及证券、期货业务资格，在执业过程中能够遵循独立、客观、公正的职业准则，客观、公正、公允地反映公司财务状况、经营成果，切实履行了审计机构应尽的职责，同意续聘容诚为公司2022年度审计机构。

（三）董事会审议续聘会计师事务所情况

2022年3月9日，公司召开第一届董事会第三十二次会议，审议通过了《关于续聘2022年度审计机构的议案》，同意继续聘请容诚为公司2022年度审计机构。

（四）监事会审议续聘会计师事务所情况

2022年3月9日，公司召开第一届监事会第二十二次会议，审议通过了《关于续聘2022年度审计机构的议案》，同意继续聘请容诚为公司2022年度审计机构。

（五）本次关于续聘容诚为公司2022年度审计机构的事项尚须提交股东大会审议，并自公司股东大会审议通过之日起生效。

三、上网公告附件

（一）沈阳芯源微电子设备股份有限公司独立董事关于第一届董事会第三十二次会议相关议案的事前认可意见；

（二）沈阳芯源微电子设备股份有限公司独立董事关于第一届董事会第三十二次会议相关议案的独立意见。

公司代码：688037 公司简称：芯源微

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

2021年年度报告摘要

第一节 重要提示

1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）网站仔细阅读年度报告全文。

2 重大风险提示

公司已在本报告中详细阐述公司在生产经营过程中可能面临的各种风险，敬请查阅“第三节管理层讨论与分析”之“风险因素”。敬请投资者注意投资风险。

3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

4 公司全体董事出席董事会会议。

5 容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

6 公司上市时未盈利且尚未实现盈利

□是 √否

7 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

经公司第一届董事会第三十二次会议审议通过，公司2021年度拟以实施权益分派股权登记日的总股本为基数分配利润，本次利润分配预案如下：

公司拟向全体股东每10股派发现金红利3.00元（含税）。截至2021年12月31日，公司总股本为84,156,000股，以此计算合计拟派发现金红利25,246,800.00元（含税）。本年度公司现金分红比例为32.64%。公司不送红股，不进行资本公积转增股本，剩余未分配利润结转至下一年度。

公司监事会及独立董事已对上述利润分配方案发表同意意见，本次利润分配方案尚需经公司2021年年度股东大会审议通过后实施。

8 是否存在公司治理特殊安排等重要事项

□适用 √不适用

第二节 公司基本情况

1 公司简介

公司股票简况

√适用 □不适用

公司存托凭证简况

□适用 √不适用

联系人和联系方式

2 报告期公司主要业务简介

(一) 主要业务、主要产品或服务情况

公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）及6英寸及以下单晶圆处理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

作为公司标杆产品，光刻工序涂胶显影设备系集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机（芯片生产线上最庞大、最精密复杂、难度最大、价格最昂贵的设备）配合进行作业，通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。作为光刻机的输入（曝光前光刻胶涂覆）和输出（曝光后图形的显影），涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成，其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸多工艺（诸如蚀刻、离子注入等）中图形转移的结果也有着深刻的影响。

公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路前道晶圆加工环节已获得了多个前道大客户订单及应用，实现小批量替代；在集成电路制造后道先进封装、化合物、MEMS、LED芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已广泛应用在国内知名大厂，成功实现国产替代。

公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用单片式清洗机Spin Scrubber设备已经达到国际先进水平，在国内多个重要客户处获得批量重复订单，成功实现国产替代。

(二) 主要经营模式

1、盈利模式

公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务，通过向下游公司销售光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备等产品实现收入和利润。报告期内，公司主营业务收入来源于半导体专用设备产品的销售，其他业务收入来源于设备相关配件销售及维修服务等。

2、采购模式

公司主要根据生产订单物料、研发物料、售后服务物料的需求计划和安全库存的需要等制定采购计划，采取与供应商单签合同或签订年度框架合同等方式开展采购。为保证公司产品的质量和性能，公司对供应商进行统一管理，主要考察供应商的资质实力、产品情况、售后服务等方面，经外部供方调查、样品试用或非标准部件定制加工验证通过后确定合格供应商名录，并持续更新及跟踪评级。

3、研发模式

公司以自主研发为主，充分结合产品技术国际发展趋势及客户实际需求，以核心基础技术研究、核心单元零部件研究、整机研发应用并重为原则，确定公司研发方向和研发项目，建立了机械、电气、软件等多模块协同配合，公司级与部门级研发项目相结合的研发创新机制。同时，公司技术质量部负责对研发项目的立项评审，组织下达设计与开发任务，开展跟踪管理、结项验收评价等具体实施管理。

4、生产模式

公司采用在手订单生产为主、潜在订单预投生产为辅的生产模式。公司根据已签单客户以及有明确需求且供期紧张的潜在客户的具体需求进行产品定制化设计及生产制造，以满足客户对产品不同的技术指标和供期的需求，同时也能合理管控公司在产品的规模和呆滞风险。

5、销售模式

公司主要采取“直销为主、代销为辅”的销售模式。直销模式下，公司通过商务谈判、招投标等方式获取订单；委托代理商销售模式下，公司与特定地区代理商签订产品销售区域代理协议，由其负责在特定地区代理销售公司相关产品，公司向其支付一定比例的代理佣金。

公司配备了专业的销售与服务团队，主要负责售前客户需求分析、商务谈判或招投标环节及销售设备的安装、调试、保修、维修、技术咨询及客户端人员培训等售后工作。公司始终秉承“客户第一，为客户创造价值”的营销理念，致力于为客户提供“专业精品”的产品及服务。

(三) 所处行业情况

1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛

（1）行业的发展阶段、基本特点

公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售业务，根据中国证监会发布的《上市公司行业分类指引》（2012年修订），公司所属行业为“专用设备制造业”（C35）；根据国家统计局发布的《国民经济行业分类与代码》（GB/4754-2017），公司所属行业为“专用设备制造业”下的“半导体器件专用设备制造”（C3562）。

半导体被称为制造业皇冠上的明珠，半导体产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。作为“工业粮食”,半导体芯片被广泛地应用于计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子、物联网等产业，是绝大多数电子设备的核心组成部分。根据国际货币基金组织测算，每1美元半导体芯片的产值可带动相关电子信息产业10美元产值，并带来100美元的GDP，这种100倍价值链的放大效应奠定了芯片行业在国民经济中的重要地位。为推动半导体产业发展，增强产业创新能力和国际竞争力，带动传统产业改造和产品升级换代，进一步促进国民经济持续、快速、健康发展，我国先后出台《科技部重点支持集成电路重点专项》、《集成电路产业“十三五”发展规划》、《国务院关于印发新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策的通知》等鼓励和支持半导体设备产业发展的政策，为我国半导体设备行业发展营造了良好的政策环境。

从全球半导体设备行业来看，随着下游电子、汽车、通信等行业需求的稳步增长，以及物联网、云计算及大数据等新兴领域的快速发展，集成电路产业面临着新型芯片和先进制程的产能扩张需求，为半导体设备行业带来广阔的市场空间。根据SEMI2021年12月预测报告，2021年半导体设备的全球销售额达到1030亿美元，同比增长44.7%，系历史上首次突破1000亿美元大关，并将在2022年继续增长至1140亿美元。其中半导体前道设备2021年销售额达到880亿美元，同比增长43.7%，并将在2022、2023年继续增长并保持在980-990亿美元左右。SEMI预计，在数字基础设施建设方面的持续投资以及多个终端市场的长期趋势将推动半导体设备行业的健康增长。

从我国半导体设备行业来看，随着集成电路产业国际产能不断向我国大陆地区转移，我国大陆集成电路生产线建设热情高涨，下游晶圆制造厂商产能持续吃紧，各大厂商均纷纷布局扩产计划。据SEMI统计，2016-2020年，我国大陆的半导体设备市场规模从64.60亿美元增长至187.20亿美元，近五年来年均复合增长率达到30.50%，远高于全球市场增速。2020年，我国大陆的半导体设备市场占全球市场的比例从2016的15.68%提升到26.20%，成为全球第一大市场。国内半导体设备市场将持续维持高景气度状态，市场前景广阔。

（2）主要技术门槛

公司所处的半导体设备行业属于典型的技术密集型行业，涉及电子、机械、化工、材料、信息等多学科领域，是多门类跨学科知识的综合应用，具有较高的技术门槛。半导体设备行业涉及国家基础科学综合实力的比拼，具有技术壁垒高、价值量高、研发周期长等特点。由于半导体工艺流程复杂，对设备依赖度较高，设备性能直接影响半导体制造的产品品质、工艺效率及良率，最终影响到半导体企业的盈利能力和全球竞争力。因此，要想实现中国半导体产业自主可控模式的崛起，完成设备环节的国产化是其至关重要的环节之一。目前，以美国应用材料、荷兰阿斯麦、美国泛林集团、日本东京电子、美国科天等为代表的国际知名企业仍占据全球半导体设备市场的主要份额。在需求拉动和国家支持下，我国半导体产业链得以不断完善，但仍然存在供给能力不足的问题，我国半导体市场国产替代存在较大市场空间。伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，我国半导体设备行业迎来了前所未有的发展契机，半导体设备的国产化进程将不断推进。

以公司生产的前道涂胶显影设备为例，作为晶圆生产过程中配合光刻机工作的重要工艺设备，其产品结构复杂（包括约十余个功能模块组及配套机器人）、单元众多（百余个功能单元）、配件繁杂（数万余个零部件），同时还要确保平均每小时数千次的机械臂运动速度。前道涂胶显影设备技术涵盖机械运动、温湿度及内环境控制、系统调度及控制、化学反应及化学品管控等，是多学科高度集成的现代高科技装备，对生产厂商的技术储备、工艺水平提出了较高要求。此外，影响前道涂胶显影机实现量产销售的难点还包括客户端工艺验证，需要协调下游晶圆厂在不影响其生产线正常生产的情况下，提供光刻机、掩膜版、检测设备及程序、客户产品片等资源配合，验证流程复杂，所需时间长。

2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况

半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒，以美国应用材料、荷兰阿斯麦、美国泛林集团、日本东京电子、美国科天等为代表的国际知名企业占据了全球半导体设备市场的主要份额。

集成电路制造前道晶圆加工领域用涂胶显影设备主要被日本东京电子（TEL）所垄断。公司生产的前道涂胶显影设备通过在客户端的验证与改进，在多个关键技术方面取得突破，技术成果已应用到新产品中。报告期内，公司生产的前道涂胶显影设备已陆续获得多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商。公司在前道涂胶显影领域，作为国产化设备已逐步得到了应用，实现了小批量替代。

集成电路制造前道晶圆加工领域用清洗设备主要被日本迪恩士（DNS）等厂商所垄断。通过持续的改进、优化，公司生产的集成电路前道晶圆加工领域用清洗机Spin Scrubber设备的各项指标均得到明显改善或提升，已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，2020年已在国内多个重点客户处通过验证。2021年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab厂商的批量重复订单。

公司生产的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备作为主流机型已批量应用于台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、中芯绍兴、中芯宁波等国内一线大厂，目前已经成为客户端的主力量产设备。公司在后道领域持续开拓新客户，报告期内积极开拓了日月光、矽品科技、盛合晶微等封装客户。公司将在未来加大力度持续开拓中国台湾以及海外市场。

公司生产的小尺寸涂胶显影设备与单片式湿法设备，可覆盖化合物、MEMS、LED等多个领域，目前作为主流机型已批量应用于三安光电、华灿光电、乾照光电、赛微电子、江西兆驰等国内一线大厂，已成为客户端的主力量产设备。公司作为国内化合物龙头三安光电的主力供应商，在市场开拓中不断延伸，报告期内进一步巩固市场优势地位。

截至报告期末，公司生产的应用于各领域的涂胶显影设备和单片式湿法设备已累计销售1400余台套。

3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势

在前道晶圆加工领域，随着下游电子、汽车、通信等行业需求的稳步增长，以及物联网、云计算及大数据等新兴领域的快速发展，全球晶圆代工厂纷纷启动成熟制程产能扩充计划。根据SEMI2021年6月发布的《世界晶圆厂预测报告》，全球半导体制造商将在2022年前开建29座高产能晶圆厂，资本支出超1400亿美元。全球晶圆代工龙头台积电在2021全年资本开支300亿美元，并在2022年指引中上修资本开支至400-440亿美元，同时台积电表示2022年代工行业将增长20%。国内晶圆代工龙头中芯国际2021年资本开支45亿美元，并在2022年指引中表示资本开支将增至50亿美元。根据市场公开信息的不完全统计，中国大陆地区主要晶圆厂预计新增12英寸芯片产能约为148.20万片/月，新增8英寸芯片产能约为11.50万片/月。随着国内众多晶圆厂的持续扩产，国内半导体前道设备行业将持续维持高景气度状态，市场前景广阔。

在后道先进封装领域，随着前道先进节点走向10nm、7nm、5nm，研发生产成本持续走高，良率下降，摩尔定律趋缓，半导体行业逐渐步入后摩尔时代。先进封装技术不仅可以增加功能、提升产品价值，还可以有效降低成本，成为延续摩尔定律的关键。5G、汽车电子及物联网时代的到来，将更多的应用到AiP、SiP等先进封装技术。根据Yole数据，先进封装占比将由2018年的42.1%提高到2024年的49.7%，对应市场规模475亿美元，年复合增长率将达到8%。同时在大国博弈的背景下，半导体行业将长期持续国产替代的主题，随着上游的芯片设计公司选择将订单回流到国内，具备竞争力的封测厂商将实质性受益。封测产业作为我国半导体领域优势最为突出的电子行业之一，随着大批新建晶圆厂产能的释放以及国内主流代工厂产能利用率的提升，先进封装市场有望迎来新一轮的景气周期。

在化合物、MEMS、LED等小尺寸半导体领域，随着5G、IoT物联网时代的来临，以砷化镓（GaAs）、氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）为代表的化合物半导体市场有望快速崛起。其中，GaAs是手机PA的主流材料。GaN高频性能突出，是5G基站与数据中心器件的关键材料，在5G时代占有重要地位。SiC主要应用于新能源汽车及其配套充电桩等大功率场景，受新能源汽车等领域快速崛起与光伏发电等“新基建”项目的需求驱动，SIC有望实现快速增长。化合物半导体行业格局中，欧美企业拥有先发优势，海外企业处于行业垄断地位。以三安光电为代表的国内化合物厂商不断扩产进行追赶，华润微、斯达半导等传统半导体企业也纷纷布局。据赛迪顾问预计，2022年，中国第三代半导体器件市场规模有望冲破608.21亿元，三年年均复合增长率将达到78.4%。在下游需求持续向好以及国内产业政策大力支持的背景下，化合物半导体市场前景广阔。在LED领域，传统LED照明行业产品单价相比前两年已趋于稳定；从中长周期来看，高端产品如Mini/MicroLED、高光效LED、车用LED、紫外/红外LED等新兴应用领域的市场渗透率正逐步提升，近期MiniLED市场出现大幅增长。未来MiniLED作为新一代背光/显示方案有望快速渗透，市场规模迅速提升，将成为LED芯片制造厂主流的扩产方向。

作为国内涂胶显影设备和单片式湿法设备提供商，公司产品在前道涂胶显影领域已实现了小批量替代，在前道物理清洗领域已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，后道先进封装以及化合物、MEMS、LED等小尺寸半导体领域已作为主力量产机型在国内多家一线大厂实现批量应用，公司将继续把握市场发展机遇，持续推进国产设备的加速替代。

3 公司主要会计数据和财务指标

3.1 近3年的主要会计数据和财务指标

单位：元 币种：人民币

3.2 报告期分季度的主要会计数据

单位：元 币种：人民币

季度数据与已披露定期报告数据差异说明

□适用 √不适用

4 股东情况

4.1 普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

单位: 股

存托凭证持有人情况

□适用 √不适用

截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

□适用 √不适用

4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

□适用 √不适用

4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

□适用 √不适用

4.4 报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况

□适用 √不适用

5 公司债券情况

□适用 √不适用

第三节 重要事项

1 公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。

公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售。2021年度，公司实现营业收入82,867.25万元，实现净利润7,734.95万元。

2 公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。

□适用 √不适用

证券代码：688037 证券简称：芯源微 公告编号：2022-022

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

关于向银行申请综合授信额度的公告

沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）于2022年3月9日召开第一届董事第三十二次会议，审议通过了《关于向银行申请综合授信的议案》。根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》的相关规定，公司本次向金融机构申请综合授信额度事项不涉及担保或关联交易，该议案无需提交公司股东大会审议，现将相关事项公告如下：

为满足公司经营发展的资金需求，公司及全资子公司拟向银行申请总额不超过人民币10亿元的综合授信额度，授信业务包括但不限于流动资金贷款、银行承兑汇票、银行保函、信用证、贸易融资等，具体授信业务品种、额度和期限，以金融机构最终核定为准。该综合授信事项有效期为两年，在授信期限内，授信额度可循环使用。

以上授信额度不等于公司的实际融资金额，实际融资金额应在授信额度内，并以银行与公司实际发生的融资金额为准，具体融资金额及品种将视公司业务发展的实际需求来合理确定。

为提高效率，公司董事会授权董事长在上述额度内与银行签署相关的合同及法律文件，同意授权管理层办理相关手续。