公开资料显示，陈旭，女，汉族，1963年7月出生，河北保定人，1984年1月加入中国共产党，博士，教授。
陈旭1981年9月进入清华大学无线电电子学系本科学习，1986年7月毕业获学士学位，留校任教。1986年9月清华大学无线电电子学系在职攻读硕士学位，1989年7月毕业获硕士学位。2002年9月清华大学电子工程系在职攻读博士学位，2005年7月毕业获博士学位。1996年8月至1997年8月赴加拿大拉瓦尔大学物理系做访问学者。
陈旭先后在清华大学电子工程系聘为讲师、副教授、教授，担任系党委研究生工作组副组长、组长、党委副书记、党委书记。2005年5月任校学生工作指导委员会副主任。2006年2月任校党委副书记。2007年12月任校党委常委、副校长。2009年6月任校党委常务副书记、副校长。2009年12月任校党委常务副书记，2013年12月任校党委书记。
据教育部网站消息，2月25日，中共中央组织部在清华大学宣布了中共中央的任免决定，邱勇由清华大学校长转任党委书记，王希勤任清华大学校长（副部长级），陈旭不再担任清华大学党委书记职务。
